半导体 AGV 小车包胶轮

半导体 AGV 小车包胶轮是晶圆、芯片无尘自动化转运设备核心行走零部件，分为驱动包胶轮、承载包胶轮、侧向导向纠偏包胶轮。产品采用航空级铝合金 / 304 不锈钢数控精密轮芯，经镜面洁净活化处理，搭配电子级高纯 NDI 聚氨酯，真空恒温密闭浇注一体复合成型。

一、半导体专用AGV小车轮的核心性能优势

1、超低发尘无污染 材料致密无孔，磨损脱落微粒≤0.1μg/cm²，滚动≥0.5μm 悬浮粒子远低于百级洁净室限值；无炭黑析出，地面不留黑印、无胶粉。

耐无尘清洗溶剂 可反复用 IPA 异丙醇、去离子水擦拭，浸泡 72h 不溶胀、不起皮、不发白。

2、静音低振动 运行噪音＜60dB，吸收地面接缝冲击，FOUP 内硅片无移位、无崩边，保护激光导航传感器。

3、长寿命低停机 耐磨是普通橡胶 5~8 倍，标准工况使用寿命 3~5 年，减少洁净区频繁更换停机损耗。

4、环保合规，满足 RoHS、REACH、无卤素，无重金属、无挥发性增塑剂析出。

二、半导体洁净车间专用保养规范

1、每日班前无尘擦拭清理 无尘布搭配异丙醇擦拭全部包胶轮表面，清除浮尘、细微碎屑；禁止钢丝刷、硬质刮刀刮擦轮面，防止划伤 PU 表层产生超细粉尘；目视检查包胶层无裂纹、局部掉块。

2、每 1000 小时磨损检测 使用千分尺测量包胶厚度，单边磨损差值≥2mm 立即停机拆轮返厂重新包胶，避免偏磨大量产尘，同时防止损伤轴承与洁净地坪。

3、每季度密闭式检修紧固 无尘环境下拆解检查密封轴承，补充洁净专用无析出润滑脂，出现异响、渗脂轴承直接更换；复检轮毂法兰螺栓扭矩，加固氟橡胶防松垫片；复测轮体防静电电阻，电阻超标及时更换。

4、规范操作延长包胶轮寿命 禁止超载堆放 FOUP 晶圆盒；杜绝原地高速转向、频繁紧急制动；避免长时间连续爬坡，减少包胶层单侧挤压撕裂。