洁净室AGV 防静电包胶轮

洁净室 AGV 防静电聚氨酯包胶轮适配半导体晶圆 FOUP 转运、锂电无尘车间、医药 GMP 洁净仓、电子贴片无尘 AGV，核心两大硬性指标：超低发尘洁净材质 + 稳定 ESD 防静电性能，完全区别普通工业包胶轮，满足 ISO14644 洁净标准、ESD S20.20 防静电规范。

一、技术要求

1. 防静电性能（稳定不衰减）

分两类配方，按洁净区域敏感程度选用：

防静电型（AS 主流款） 表面稳定电阻：10⁶～10⁹ Ω 适用：封测车间、晶圆存储区、锂电装配、万级 / 千级洁净仓，缓慢泄放静电，不易吸附空气中粉尘。

导电型（CD 高敏感区） 表面电阻＜10⁵ Ω 适用：光刻、扩散、裸芯片作业百级洁净室，快速导出静电，杜绝静电击穿元器件、光刻胶。

2. 洁净低发尘标准

无硅油、无游离炭黑、低 VOC、无卤素，SEMI F21 洁净材料认证；

胶体质密无气孔，滚动磨损微粒极少，擦拭无白色胶粉脱落；

耐 IPA 异丙醇、无尘清洗液长期擦拭，不发白、不溶胀、不起皮；

胎面镜面光面设计，无深防滑纹路，减少粉尘藏匿与摩擦产尘。

3. 低振动静音要求

邵氏 85A–92A 弹性区间，吸收地面接缝震动，AGV 行驶抖动极小，保护晶圆、精密电子元件，运行噪音≤60dB。

二、结构配置（洁净专用）

1. 轮芯轮毂

轻载 FOUP / 小型洁净 AGV（≤2.5t）：6061-T6 镜面抛光铝合金 精细喷砂 + 电子级专用底涂，散热好、无铁锈污染源，动平衡校正，径向跳动≤0.03mm。

重载立体库、锂电重型转运 AGV（2.5–5t）：SUS304 不锈钢轮毂 整体钝化防锈，杜绝氧化粉尘污染洁净环境。

包胶工艺：真空高温浇注一体成型，PU 与金属剥离强度≥15kN/m，长期往复行走不脱胶、不开裂。

2. 聚氨酯包胶材质分级

PPDI 防静电洁净 PU（高端百级车间首选） 超低析出、低生热、耐磨、产尘量最低；24h 连续高速运行不发热老化，硬度 85A–92A，半导体光刻 / 存储标配。

NDI 防静电洁净 PU（中低端万级洁净、锂电仓） 性价比高，耐磨抗撕裂，低粉尘，适合常规物料转运 AGV。

改性 MDI 洁净防静电 PU（辅料、普通电子洁净车间） 仅 Class7 万级及以下低敏感区域使用，不可接触裸晶圆。

3. 无尘密封轴承

材质：SUS304 不锈钢双重 2RS 全密封轴承，无缝隙积尘；

润滑介质：PFPE 全氟聚醚无尘润滑脂，无油脂挥发、无渗漏污染洁净空气；

轻载用深沟球轴承，重载穿梭 AGV 配微型调心滚子轴承。